A.12C、13C、14C质子数不同,中子数相同,互为同位素;金刚石、石墨都是碳元素的形成的不同单质,互为同素异形体,故A错误; B.12C和13C都是碳原子,但质量数不同,故B错误;C.O2和O3都是由氧元素组成的物质,是混合物,故C错误;D.有相同质子数,不同中子数的原子互为同位素,故D正确,故选D.